Titre du sujet de thèse

Caractérisation et modélisation d'une décharge magnétron réactive pulsée haute puissance, application aux dépôts d’oxydes et de nitrures.

Thesis title

Characterization and modelization of a high power impulse reactive magnetron discharge, application to oxide and nitride thin films.

Description du sujet de thèse / Full thesis description

Encadrant(s) / Supervisor(s) Discipline(s) Financements / Funding bodies
JOUAN Pierre Yves

RHALLABI Ahmed
Sciences des Matériaux
Physique : Atomes, Molécules et Plasmas

Physique
Contrat Doctoral Université de Nantes (100 % , Acquis)
Unité(s) de recherche associée(s) / Associated research unit(s) :
UMR CNRS 6502 Institut des Matériaux Jean Rouxel (IMN)

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